摘要：在真空环境下使用不同功率密度的CO2激光对化学气相沉积法（CVD）生长的石墨烯进行辐照，通过研究辐照前后的拉曼光谱变化考察了激光功率密度及辐照时间对多层石墨烯结构的影响。结果表明，当功率密度较低（13W／cm2）时，石墨烯拉曼光谱中的D峰降低，2D峰增强，石墨烯内的掺杂、缺陷减少。随着功率密度的增加，石墨烯的缺陷增多，部分缺陷连接形成晶界，使石墨烯分解为纳米晶。在58W／cm2的功率密度下，当作用时间为120s时，在石墨烯表面产生非晶碳。研究表明，适当参数的C02激光辐照能改善石墨烯的内在性能。

关键词：激光技术 石墨烯 拉曼光谱 co2激光辐照 

单位：清华大学机械工程系先进成型教育部重点实验室 北京100084 曼彻斯特大学机械、航空航天与土木工程学院激光加工研究中心 曼彻斯特M13 9PL 英国