摘要：利用射频磁控溅射结合水热生长两步法制备了均匀致密分布的ZnO纳米晶薄膜，并利用碳纳米管阵列场发射阴极测试了其场电子激励下的发光特性。结果表明，在电子束流激励下，ZnO纳米晶薄膜的光谱具有两个发射峰，其中黄绿峰属于缺陷发光而紫外峰来源于ZnO的内在激子，且随电子束流密度的增大紫外峰发光强度增长明显。另外，还发现ZnO纳米晶薄膜相对于常规ZnO薄膜的光谱有一定程度的红移，近紫外峰已移至紫光波段。

关键词：光电子学 场电子激励发光 zno纳米晶薄膜 光谱红移 

单位：电子科技大学光电信息学院 四川成都610054