摘要：拉曼光谱是研究化学气相沉积（CVD）金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明，紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景；1140 cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是反聚乙炔的增多和sp2碳散射的增强。可见光拉曼光谱检测发现随着晶粒的减小，1140 cm-1和1460 cm-1峰强度增强，金刚石特征峰强度降低同时其半峰全宽（FWHM）变宽，薄膜中sp3碳含量减少；基体材料由硬质合金变为微米金刚石后，金刚石特征峰强度显著增加，FWHM有较大减小，非sp3碳成分含量明显减少。

关键词：激光技术 拉曼光谱 化学气相沉积金刚石 

单位：南京航空航天大学机电学院 江苏南京210016 江苏省精密与微细制造技术重点实验室 江苏南京210016