摘要：为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性，采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒，改变激光工艺参数，研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响；并根据不同制绒方式制备电池，比较其输出性能。实验结果证明：当激光功率密度P=0.85×105 W/cm2，刻蚀速度v=600 mm/s，重复频率f=50 kHz，填充间距Δd=0.012 mm时，获得薄膜方块电阻较小，陷光效果良好的绒面结构，有效地增强了电池吸收率，提高了电池的转换效率。

关键词：光电子学 激光制绒 陷光效应 方块电阻 总透射率 

单位：华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室 广东广州510006 广东工业大学物理与光电工程学院 广东广州510006 华南理工大学机械与汽车工程学院 广东广州510641 深圳市大族激光科技股份有限公司 广东深圳518000