摘要：为了评价高精度光学元件支撑装置的面形复现性指标，进行了分析计算和实验验证。在ANSYS有限元分析软件中建立了元件支撑的物理模型，进行了支撑结构的残余应力分析以及元件面形对干扰载荷的灵敏度分析，据此计算得到了支撑结构面形复现性均方根（RMS）误差。分析结果表明，基于目前结构设计和装配精度，元件支撑装置设计的面形复现性RMS优于0．14nm。基于高重复性干涉检测装置构建了复现性测量平台，测量结果表明支撑装置面形复现性RMS优于0．18nm。复现性检测实验结果和仿真结果能较好吻合，所得结果满足高复现性元件支撑技术的要求。

关键词：光学设计 光刻技术 有限元分析 元件支撑装置 复现性测量 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033