摘要：半导体激光器由于其光电转换效率高、亮度高、寿命长等特点，是用于抽运固体激光器的最佳选择。作为抽运源，要求半导体激光器具有很好的光学性能，主要包括出射光束的发散角和指向性。半导体激光器的发散角很大，要对其进行光束压缩整形并控制光束的指向性是一项很难的技术，对于多个半导体激光器组成的叠阵要保证其每一个巴条的光学性能良好更是不容易做到。从研究半导体激光器光束质量的控制着手，制作出一个带快轴准直的60个巴条的激光器叠阵，其峰值功率高达18kw，叠阵整体快轴发散角小于0．2°（3．5mrad），每个巴条的指向性在±0．15°（±2．6mrad）以内。

关键词：激光器 半导体激光器叠阵 快轴准直 光学性能 

单位：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所半导体光电子技术研究室 江苏苏州215163