摘要：设计了皮秒激光加工系统，该系统可输出355、532、1064nm皮秒脉冲激光，单脉冲能量最大1．5mJ，脉冲宽度9．12ps。进行了轴向色差补偿设计，轴向焦点补偿最大距离0．4mm，最小焦斑直径为3μm，峰值功率密度达0．6×10μW／cm2。。应用该系统，开展了不同波长与不同材料作用的加工实验研究。研究表明，1064nm皮秒脉冲激光可用于手机屏幕切割，532nm皮秒脉冲激光可用于光电探测器制作，355nm皮秒脉冲可用于精细度要求较高的金属类材料加工。

关键词：激光技术 皮秒激光 精细加工 色差补偿 

单位：中国科学院光电研究院 北京100094 中国科学院大学 北京100049 北京国科世纪激光技术有限公司 北京100192