摘要：针对2kw射频板条CO2激光器离轴负支非稳波导混合腔的近场分布存在较多高空间频率分量，导致聚焦后会产生不可忽略的旁瓣，无法直接应用于激光加工的问题，对谐振腔的近场分布使用特征向量法和矩形波导的解析表达式进行了数值模拟和实验研究。并结合Collins公式研究了输出光束整形过程中光场分布的变化和整形系统中空间滤波器的优化设计。理论和实验结果表明：激光器输出光束在整形前为有较多高空间频率振荡的长条形的简单象散光束。通过带空间滤波器的整形系统消除旁瓣，并将初始的长条形的简单象散光束整形成近圆形、近基模高斯分布的光束。整形后的光束非稳方向的光束质量因子M2为1．1，波导方向肝为1．08。

关键词：激光光学 射频板条co2激光器 离轴负支非稳腔 简单象散光束 光束整形 

单位：华中科技大学光学与电子信息学院 激光加工国家工程研究中心 湖北武汉430074 深圳信息职业技术学院 广东深圳518000