摘要：透明导电薄膜被广泛应用于平板显示,太阳能电池等发光行业。透明导电薄膜厚度的减少将导电薄膜的用途大为拓展,目前该薄膜的制备仍然是研究热点。采用激光分子束外延（LMBE）镀膜系统在1.0×10^-5 Pa的高真空下制备了不同厚度、不同氧压下的ZnO单层膜以及ZnO/Au/ZnO三明治结构薄膜,并进行了光谱及电阻率的测试,运用控制变量法得到ZnO和Au的最优膜层厚度。制备出通透性好（可见光透射率80%以上）、电阻率低（6.89×10^-4Ω·cm）厚度均匀的透明导电薄膜。

关键词：薄膜 低电阻率 机理分析 

单位：聊城大学物理科学与信息工程学院 山东聊城252059 山东省光通信科学与技术重点实验室 山东聊城252059