摘要：搭建完成了基于单偏振半导体光放大器扫频光源的光相干成像系统，此系统可以实现高速光相干层析成像与光相干显微成像。系统中的扫频光源使用偏振相关的半导体光放大器作为放大单元，该光放大器有着增益谱宽大、输出功率高的优点，使得光源仅使用一个放大器即可获得合适的增益谱宽与输出功率，并可采用傅里叶域锁模技术大幅提高其扫频速率。采用傅里叶域锁模技术时，扫频光源输出功率达到32mw左右，有效扫描频率为45kHz，输出光谱的中心波长为1326nm，光谱宽度为115nm。利用系统进行高速光相干层析成像时，横向分辨率为9μm，纵向分辨率为12．9μm左右，灵敏度为105dB。利用系统进行光相干显微成像时，可以清楚地看到洋葱内表皮细胞的结构。

关键词：相干光学 傅里叶域锁模结构光源 光相干层析 光相干显微镜 半导体光放大器 

单位：清华大学电子工程系信息科学与技术国家实验室、集成光电子学国家重点实验室 北京100084 北京无线电计量测试研究所 北京100039 计量与校准技术部级重点实验室 北京100039