摘要：利用Fluent软件，以N-S方程和RNG κ-ε 模型为基础，采用离散相模型,对风刀吹扫去除传输镜表面颗粒物污染物的流场，以及吹扫去除过程中颗粒物的运动轨迹进行了模拟，并基于模拟仿真结果搭建了颗粒物污染捕捉和收集的装置，最终提高了传输镜表面污染物的清除效率和洁净度，并且在一定程度上避免了吹扫过程中污染物颗粒进入周围环境以造成对其他光学元器件的污染。
关键词：激光技术 高功率激光 污染物除去轨迹 数值模拟 传输镜
单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室 上海201800 中国科学院大学 北京100049
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