摘要：采用电子束蒸发制备了1064nm高反膜样品，并通过激光预处理系统对样品表面的部分区域进行了光栅式扫描，形成等离子体烧蚀区域。搭建了光束质量测试系统，记录在样品表面有无等离子体烧蚀两种情况下的反射光束的空间强度分布。采用经典周期图法，分别计算了各自的强度分布的功率谱密度。结果表明，等离子体烧蚀导致的传输光束峰值强度对应于功率谱密度曲线中心峰值强度，而周期性起伏则体现在相应频率下的峰值。因此功率谱密度曲线可以作为表征光学元件对传输光束调制的手段。

关键词：表面光学 激光预处理 光束调制 功率谱密度 等离子体烧蚀 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室 上海201800 中国科学院大学 北京100049