摘要：蓝光激光器在生物工程、激光显示屏、激光医疗以及侦查通讯等众多领域都有着重要应用，而谐振腔作为激光器的重要组成部分，如何合理有效地激发出蓝光更是研究的重点。针对蓝光激光器的使用要求，以Nd：YAG作为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率材料，利用电子束真空镀膜设备，双离子源辅助沉积的方法进行谐振腔面膜的制备。借助膜系设计软件对实验进行模拟分析，优化改善电场分布，减小激光对薄膜的损伤，详细地叙述了极值法累积误差产生的原因，以及镀膜材料的色散引起的短波区和长波区的监控差异，通过分析折射率所引起的光学厚度变化，调整修正因子，最终制备出了光谱性能好，吸收小，化学性能稳定的滤光膜，满足蓝光激光器的使用要求。

关键词：薄膜 膜系设计 蓝光激光器 离子源辅助沉积 

单位：长春理工大学光学工程学院 吉林长春130022