摘要：报道了248nm准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了24811113准分子激光光能量分布的彩色图像，使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算，通过光学软件ZEMAX模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源。通过分析空间光能量分布特征，设计并加工出一套适用于248nm准分子激光的微透镜整形均束装置，且理论模拟和实际测试结果相吻合。248nm准分子激光通过该光学系统整形均束后，可以在工作平面上得到一个约18mm~18mm的正方形光斑，光斑的能量均匀度误差（加工窗）在±2％以内，平顶因子为0．90，光能量通过率为85％左右，解决了248rim准分子激光光斑形状不规则，且光斑能量分布不均匀的问题。该装置的研制成功，对于优质、高效地开展准分子激光微加工提供了具有自主知识产权的技术支撑。

关键词：激光光学 准分子激光 均束装置 微透镜 能量分布 

单位：北京工业大学激光工程研究院 北京100124