摘要：根据高能固体板条主振荡功率放大（MOPA）激光放大器系统输出矩形光束在增益介质长度方向波前畸变的特点，针对性地研制了在一维方向上进行波前畸变校正的新型波前校正器，即一维变形镜（DMID）。通过仿真模型对镜面厚度及粘接面形状等技术参数进行优化，设计了一个具有11通道的主动冷却型一维变形镜，全口径静态面形峰谷（PV）值为0．17μm，校正动态范围不小于5μm。采用主动冷却技术，使镜面在8kW／cm^2功率密度激光长时间照射情况下温升小于1℃，保持了强光作用下镜面面形的稳定性。在闭环校正试验中，光束质量口因子均值从8.82提高至4.38，有效地校正了光束波前畸变，验证了该一维变形镜在MOPA激光系统中的实用性。

关键词：光学器件 主振荡功率放大 波前畸变 变形镜 光束质量 

单位：中国工程物理研究院应用电子学研究所 四川绵阳621900 中国工程物理研究院物院高能激光科学与技术重点实验室 四川绵阳621900