摘要：极紫外光刻技术（EUVL）利用波长为13．5nm的极紫外（Euv）光源，可以轻松突破30nm技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能，具有较高的能量转换效率。毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体（LPP）的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用，耦合出较大面积的极紫外辐射区，从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率，有利于光刻生产。在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上，探讨了激光对耦合光源所起的作用。实验发现位置耦合对极紫外光源的影响很小，激光等离子体引起的动力耦合成为问题的关键，有待于逐步解决。

关键词：激光光学 极紫外光源 毛细管放电 三束等离子体 激光等离子体 

单位：湖北汽车工业学院理学院 湖北十堰442002