摘要：设计并制作了一种基于马赫-曾德尔干涉仪（MZI）结构的低功耗聚合物热光开关。聚合物材料具有低热导率和高热光系数的优点,可以有效降低热光器件的功耗。在Si O2衬底上,采用热光系数较大的Norland紫外固化胶（NOA73）作为波导芯层,聚甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物[P（MMA-GMA）]作为波导的上包层,设计了热光开关器件,并对光场和热场进行了模拟,采用传统的半导体工艺完成了热光开关器件的制备。器件的测试结果表明,在1550 nm工作波长下,热光开关器件的消光比为20.2 d B,驱动功率仅为9.14 mW,开关的上升时间为174μs,下降时间为292μs。

关键词：光学器件 热光开关 集成光学材料 聚合物波导 

单位：吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室 吉林长春130012