摘要：设计一种两光束相向照射，在散射角0=90。方向记录的干涉粒子成像测量实验系统，利用模版匹配相关方法提取粒子两点像的位置坐标，根据粒子像位置坐标，粒子掩模图的形状和大小提取出单个粒子两点像。再对每个粒子两点像进行自相关、Gaussian插值提取两点像之间距离，进而计算得到粒子尺寸大小，其测量精度可达到亚像素精度。对标称值为45gm的标准粒子进行了测量，粒径测量值为（46．54±0．50）gm，相对误差3．42％。实验结果表明了该方法的可行性。

关键词：测量 干涉粒子成像 双光束照明 聚焦像 粒子尺寸测量 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室 天津300072