摘要：针对激光驱动惯性约束聚变（LICF）装置中靶室常用的几种铝合金和不锈钢材料，采用波长为1064nm、脉宽为8ns的基频激光进行烧蚀实验，研究了不同激光能量密度下其质量损失同辐照激光脉冲数的关系，测试了烧蚀深度随激光能量密度增长的关系。研究表明，铝合金在激光能量密度大于1．0J／cm2时有明显烧蚀，激光通量为1．2～5．2J／cm2时，质量烧蚀速率增长缓慢，平均质量烧蚀速率为2．31±0．89μg／cm2／shot。铝合金的烧蚀深度随激光能量密度增加而增加，不锈钢的烧蚀深度先增加而后呈下降趋势；铝合金的烧蚀深度明显高于不锈钢的烧蚀深度。基于材料对激光的吸收率明显的不同，分析了其烧蚀机理。该研究对LICF靶室材料的选取及金属的激光打孔、切割等加工有一定的参考意义。

关键词：激光技术 激光烧蚀 铝合金 不锈钢 烧蚀速率 

单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳621900 电子科技大学物理电子学院 四川成都610054