摘要：利用纳秒脉冲激光对铜表面进行打黑处理，并使用分光光度计、光学表面轮廓仪、扫描电子显微镜（SEM）等对试样进行反射率、粗糙程度的测量以及微观结构的观察。选用单向填充式扫描方式研究了不同扫描间距对打黑效果的影响，发现在不同扫描间距条件下，打黑后会形成不同的微观结构（光栅状、近似光栅状、珊瑚状等），且减小扫描间距可以显著增加吸光率。其中，当扫描间距为10 μm 时，打黑后的样品在200～760 nm 波段的吸光率可达97%以上，在760～1110 nm 波段达到90%以上，而在1110～2500 nm 波段也保持在85%以上。此外，研究了二次填充对打黑效果的影响，发现打黑后样品的吸光率也较第一次打黑有一定提高，且不同填充方向的二次打黑所造成的吸光率的差异随着扫描间距的减小而逐渐减小。

关键词：激光光学 微纳米结构 铜 吸光率 纳秒激光 

单位：江苏大学机械工程学院 江苏镇江212013 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室 北京100083