摘要：红外仿真作为一种新型仿真手段,以其仿真可信度高、重复性好、实验成本低等优点在军事领域得到越来越广泛的应用。为满足红外仿真系统的要求,调节红外短、中波段能量的比例,对系统中的滤波器进行研制。选择Ge和SiO作为高低折射率材料,利用Ge在可见光和近红外的吸收特性,通过叠加膜堆展宽反射带,采用TFCalc软件的变度量（variable metric）法对双波段能量调节、超宽截止带滤波器进行优化设计。并针对不同材料的特性,分别采用电子束蒸发和电阻蒸发技术,制备了相应的滤波器。通过逆向工程方法分析消光系数对透射率的影响,解决了膜系透射率偏低的问题。制备的滤波器在300-1900nm和5500-7500nm波段透射率小于1%,在2000-2500nm波段平均透射率为90.6%,在3700-4800nm波段平均透射率为35.7%,满足该系统环境测试要求。

关键词：薄膜 滤波器 膜系设计 吸收 红外仿真 

单位：长春理工大学光电工程学院; 吉林长春130022