摘要:针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶为主模结构材料,采用2次紫外斜曝光工艺,加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构。依次采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻技术和NOA73紫外曝光技术对主模结构进行复制得到PDMS和NOA73 2种材料的微透镜阵列,用共聚焦显微镜观察微透镜阵列的表面形貌并搭建光学检测平台,测试微透镜阵列的成像效果。结果显示,NOA73材料的微透镜阵列具有更好的光学性能。通过上述工艺加工的微透镜阵列具有较好的成像效果和表面形貌,重复性好且加工周期短,可集成在微流式细胞仪中用于样本流的荧光检测,提高了检测精度。
关键词:光学器件 微透镜阵列 noa73 斜曝光 聚二甲基硅氧烷
单位:中北大学电子测试技术重点实验室; 山西太原030051
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
相关期刊
Journal of Mountain Science Tsinghua Science and Technology Frontiers of Information Technology Electronic Engineering Communications in Theoretical Physics Control Theory and Technology Transactions of Nonferrous Metals Society of China China World Economy Progress in Natural Science:Materials International Journal of Semiconductors High Technology Letters