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TEA CO2激光器放电区气流均匀性对激光输出的影响

邵明振; 邵春雷; 陈飞; 潘其坤 中国激光 2016年第07期

摘要:为了获得气体流速分布均匀性对激光器注入能量和输出能量的影响,运用计算流体动力学(CFD)方法对放电区流场进行模拟分析,得到放电区气体流速的纵向分布和竖向分布。根据影响流速分布不均匀性的因素,对整个流场进行优化改进。根据流体动力学原理及激光器结构及其轻量化要求,在原有结构基础上增加3层隔板以改善流场分布特性。优化后,放电区气体平均流速达到99.3 m/s,流速的纵向不均匀度为5.2%,竖向不均匀度为7.1%。激光器的重复频率由300Hz提高到365Hz,单脉冲注入能量由160J提高到171.5J,输出能量由20J提高到21.8J,激光发散角减小了0.5mrad。改善放电区流场分布特性可提高激光器的整体性能。

关键词:激光器横向激励大气压co2激光器气体均匀性计算流体动力学输出能量

单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室; 吉林长春130033

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