摘要：在氩气的保护下,用具有振镜扫描系统的 500 W 光纤激光器辐照预置在单晶硅基体上的纳米石墨颗粒。探究了激光能量密度与转变产物显微形貌和晶体结构之间的关系。用透射电镜、拉曼光谱、XRD 分析了所获产物的显微形貌和晶体结构。当激光能量密度达到 3.33 kJ/cm2时，转变产物的尺寸与原始颗粒尺寸相比有所增大；当激光能量密度达到 4.17 kJ/cm^2时，转变产物由颗粒状变为了线状；而当激光能量密度达到 8.33 k J/cm^2时，产物由原始的多晶结构转变成了块状的晶体结构。实验结果表明激光能量密度对单晶硅基体上纳米石墨颗粒显微形貌和晶体结构的转变有很大的影响。

关键词：激光制造 激光辐照 转变规律 显微形貌 晶体结构 

单位：浙江工业大学之江学院; 浙江杭州310024; 浙江工业大学激光先进制造研究院; 浙江杭州310014; 浙江省高端激光制造装备协同创新中心; 浙江杭州310014