摘要：对金属介质多层膜样品进行不同温度的退火处理。实验发现，当退火温度为350 ℃时，在样品Au层与SiO2层的界面处出现过渡层,样品具有很强的抗化学清洗能力。利用透射电子显微镜观测与能谱仪分析发现，过渡层的出现主要是Cr原子从Au层底部扩散到SiO2层的结果。过渡层可以增强Au层与SiO2层间的粘附力，阻挡酸溶液的渗入，使得金属介质多层膜的抗化学清洗能力得到增强。

关键词：材料 界面扩散 化学清洗 退火 粘附力 

单位：中国科学院大学; 北京100049; 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室; 上海201800; 中国科学技术大学近代物理系核探测与核电子学国家重点实验室; 合肥230026