摘要:为了满足大口径反射镜研磨阶段的面形检测需求,分析了激光跟踪仪测角误差的来源,提出了÷种基于S多项式拟合的矫正测角误差的方法,该矫正方法能有效克服采样位置误差和随机误差带来的影响。针对不同频段测角误差,提出母线和米字格采样法,其中母线采样法对10%以内的标定实验随机误差有较好的抑制作用。矫正方法的可行性得以验证,从而为进一步实验提供了理论基础。
关键词:光学设计 激光跟踪仪 角度误差补偿 大口径非球面镜 多项式拟合
单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室; 吉林长春130033; 中国科学院大学; 北京100049
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