摘要：在不同位置和激光辐照能量的条件下，采用传声器采集并提取了等离子体冲击波的压强值及其起始时间信息，分析了等离子体冲击波在空气中的传播规律，拟合得到了冲击波声压值与激光辐照能量的关系函数。结果表明，激光等离子体冲击波以球面波形式在空气中进行传播，其声压值与激光辐照能量呈非线性的正相关关系。

关键词：薄膜 激光损伤 激光诱导击穿 等离子体冲击波 声谱分析 

单位：西安工业大学光电工程学院; 陕西西安710021; 南京理工大学电子工程与光电技术学院; 江苏南京210094