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高功率半导体激光器微通道热沉的模拟优化

张冬云; 谢印开; 李丛洋; 曹玄扬; 徐仰立 中国激光 2017年第02期

摘要:针对原curamik微通道热沉因进水通道流量不均而导致散热不均匀的现象,基于FLUENT软件对其进行数值模拟。从内部结构及热沉材料方面提出优化方案,并进一步获得在热沉高度和进出口宽度为固定值的条件下,微通道宽度、间距及通道脊长度3个因素分别对芯片表面温升和压降的影响规律。根据优化的参数,通过选区激光熔化技术制备获得纯镍微通道热沉并进行芯片封装测试。结果显示,微通道热沉散热均匀,热阻为0.39K/W,压降为140kPa,能够满足输出功率为80w的半导体激光器单巴条芯片的散热要求。

关键词:激光光学微通道热沉fluent软件散热性能纯镍粉

单位:北京工业大学激光工程研究院; 北京市数字化医疗3D打印工程技术研究中心; 北京100024

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