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低垂直发散角高亮度光子晶体半导体激光器

周旭彦; 赵少宇; 马晓龙; 刘云; 李伦华; 林羽喆; 齐爱谊; 王宇飞; 渠红伟; 郑婉华 中国激光 2017年第02期

摘要:针对现有边发射半导体激光器远场发散角大、光束质量差等问题,引入光子晶体人工微结构实现模式扩展和模场分离,改善了单芯片半导体激光器的性能,实现了高亮度高光束质量的激光输出。理论分析并模拟了光子晶体半导体激光器对光场的调控机制,并介绍了几种典型的光子晶体半导体激光器。在光子晶体激光器实现低垂直发散角的基础上,设计了不同的结构实现了大功率、单模、高亮度等特性的输出。实验验证了光子晶体能带效应在提高半导体激光光束质量、提高亮度等方面的调控作用,其能够突破普通半导体激光器面临的限制,有助于半导体激光更有效地应用在光纤激光器抽运和激光加工等领域,为半导体激光的直接应用奠定了基础。

关键词:激光器半导体激光器光子晶体低垂直发散角高亮度

单位:中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室; 北京100083; 中国科学院半导体研究所固态光电信息实验室; 北京100083; 中国科学院大学未来技术学院; 北京101400

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