摘要：依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31μm单点透射率为93.7%,通带半峰全宽为49nm,1-3.2μm和3.4-5μm波段平均透射率为0.17%,满足系统使用要求。

关键词：薄膜 拆分技术 逆向分析法 敏感度分布 窄带滤光膜 

单位：长春理工大学光电工程学院; 吉林长春130022