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飞秒激光成丝制备毫米级深孔

张艳杰; 宋海英; 刘海云; 刘勋; 李维; 刘世炳 中国激光 2017年第04期

摘要:利用飞秒激光成丝效应对2mm厚的聚甲基丙烯酸甲酯材料在空气环境下进行打孔实验,总结光丝长度随飞秒激光平均功率的变化,利用扫描电子显微镜初步分析深微孔的表面形貌并测量孔径的大小,然后分析孔径、深宽比以及锥度随激光平均功率和加工时间的变化规律。研究结果表明,随着飞秒激光平均功率的增大,孔径大小和锥度均有着明显的增大趋势,且深宽比下降。随着加工时间的增加,孔径变大,深宽比下降,锥度先增大后减小再增大,但总体上呈现增大趋势。

关键词:激光技术飞秒激光成丝效应深孔锥度孔径深宽比

单位:北京工业大学激光工程研究院强场与超快光子学实验室; 北京100124; 中国空间技术研究院北京空间机电研究所; 北京100094

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