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激光传感器光轴垂直度误差标定方法

王祎雯; 付鲁华; 赵炎; 张恒; 曲兴华; 刘常杰 中国激光 2017年第04期

摘要:针对高精度复合式测量机中的激光传感器进行了高精度的标定,提出了利用已知底角的双斜面标定块和正弦定理标定光轴垂直度误差偏角的方法,分析了影响标定精度的因素。该方法避免了传感器光轴与工作台不垂直引入的各个方向的误差,可有效地提高该传感器的测量精度,为更高精度的多传感器复合测量提供了基础。

关键词:传感器垂直度误差标定拟合平面斜率光轴高精度复合式测量

单位:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 天津300072; 中国计量科学研究院; 北京100013

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