摘要：利用声发射仪对脉冲光纤激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程进行了试验研究。在激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程中检测到的声发射信号包含丰富的特征信息；利用声发射信号的幅度、能量计数和撞击计数等特征参数对激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程进行表征；蓝宝石未被切穿时声发射信号表现为声发射事件少，幅度大（90～100dB），能量计数较大，撞击计数较小；蓝宝石被切穿后声发射信号表现为声发射事件多，幅度小（40～80dB），能量计数基本为0，撞击计数较大。

关键词：激光技术 激光诱导背向湿式刻蚀 声发射信号 蓝宝石 

单位：广东工业大学机电工程学院; 广东广州510006