摘要：采用532 nm波长的纳秒脉冲激光对由直流磁控溅射法制备的Ti/FTO复合薄膜表面进行了辐照处理，研究了激光能量密度对薄膜的表面形貌、晶体结构、光学性能和电学性能的影响。结果表明,采用适当能量密度的激光对薄膜进行激光辐照处理，一方面可对薄膜表面起到退火作用，促进薄膜晶粒生长、消除部分晶体缺陷，另一方面还可促使Ti层氧化成TiO2层，最终使薄膜的综合光电性能得到提升。

关键词：激光技术 激光辐照 光电性能 品质因子 

单位：江苏大学机械工程学院; 江苏镇江212013; 江苏大学材料科学与工程学院; 江苏镇江212013; 江苏大学江苏省光子制造科学与技术重点实验室; 江苏镇江212013