摘要：为有效检测光学元件体内的缺陷情况，利用全内反射技术，让激光束在光学元件内部多次全内反射后获得缺陷的散射光斑图像，结合基于最小二乘法的椭圆拟合等方法对散射图像进行处理，得到缺陷的三维位置信息。对该方法进行了实验验证，实验结果表明，扫描采集35幅图像即可完成对尺寸为150mm×120mm×20mm的大口径光学元件的全部缺陷检测，待测样品缺陷点的深度位置定位精度优于150μm，说明该方法可以有效检测大口径光学元件缺陷点。针对可能影响实验结果的误差来源和限制系统分辨率的因素进行了分析，结果表明提高成像系统横向分辨率或减小激光束横截面宽度均可有效地提高系统的分辨率。

关键词：测量 缺陷深度位置检测 全内反射 大口径光学元件 椭圆拟合 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室; 上海201800; 中国科学院大学; 北京100049