摘要：为满足日盲探测系统的技术要求，研制了一种可以实现紫外日盲区（200-270nm）高透射、近紫外到近红外区（300-1200nm）深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性，结合光学薄膜理论，优化膜系结构，设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜，通过对沉积速率的实验研究，在保证金属光学性能的前提下，有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析，对谐振层工艺参数进行优化，有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200270nm波段的平均透射率达到51．21％，在300～1200nm抑制区的平均透射率为0．90％。

关键词：薄膜 滤光膜 日盲探测 控制误差 逆向反演 

单位：长春理工大学光电工程学院; 吉林长春130022