摘要：基于激光热裂纹控制法，提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法。通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式，设计了能形成三个焦点的光路系统，并利用该系统进行了夹层玻璃、磷酸二氢钾（KDP）晶体、超白玻璃等透明材料的切割分离实验。结果表明，利用该方法得到的表面平整光滑，无亚表面损伤，粗糙度小，有效解决了单个激光焦点热裂纹分离方法受材料厚度限制的问题，该方法具有很大的应用前景。

关键词：激光光学 激光切割分离 多焦点 透明材料 裂纹控制法 

单位：华中科技大学武汉光电国家实验室; 湖北武汉430074