摘要：利用800nm飞秒激光光镊捕获了水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率对银线线宽及表面形貌的影响,实现了线宽为378nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方法制备了银二维网格结构,体现了该技术在二维结构直写方面的良好加工能力。

关键词：激光技术 激光直写 光镊 飞秒激光 银微纳结构 

单位：长春理工大学光电工程学院; 吉林长春130022; 中国科学院重庆绿色智能技术研究院智能增材制造技术与系统重庆市重点实验室; 重庆400714