摘要：为了研究飞秒激光螺旋加工工艺参数对小孔成形过程的影响,以304不锈钢为靶材,选取飞秒激光螺旋钻孔工艺的主要参数,基于L25（56）正交表设计了5因素5水平正交实验,分析单脉冲能量、重复频率、旋转速率、焦点下移速率、吹气压力对烧蚀深度影响的显著水平;基于反向传播（BP）神经网络建立这5个因素与材料烧蚀深度之间的关系模型,并利用正交实验数据对网络进行训练,通过附加钻孔实验数据对所建立网络的泛化能力进行测试,结果表明所建立的模型预测误差在3%以内;针对螺旋钻孔的特征参数——焦点下移速率设计单因素实验,得到了飞秒激光螺旋钻孔过程中焦点下移速率对小孔成形影响的规律。

关键词：激光光学 激光制造 小孔演化过程 正交实验 飞秒激光螺旋钻孔 

单位：厦门大学航空航天学院; 福建厦门361005