摘要：1064nm分布布拉格反射（DBR）半导体激光器具有窄线宽、输出稳定的特性,在自由空间激光通信用种子光源等方面具有广阔的应用前景。设计了一种单模、窄线宽的1064nm DBR半导体激光器,利用金属有机化合物气相沉积技术生长出InGaAs应变量子阱半导体激光器材料,并制备出腔长为1200μm的脊型波导1064nm DBR半导体激光器。当注入电流为70mA时,室温下该激光器的连续输出功率可达到7mW,3dB光谱线宽为0.12nm。

关键词：激光器 1064nm半导体激光器 分布布拉格反射激光器 单模激光器 脊型波导 

单位：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室; 吉林长春130022; 海南师范大学物理与电子工程学院; 海南海口571158; 长春理工大学质量监控与评估中心; 吉林长春130022