摘要：针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验数据的重复性的均方根可以达到0.14nm。

关键词：测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 吉林长春130033; 中国科学院大学; 北京100049