摘要：利用飞秒激光双光子直写技术,在微流控芯片内部集成了一款三维（3D）弹簧状流量传感器。加工的弹簧状流量传感器可以循环拉伸多次,且变形可逆。另外,不同的激光曝光能量能够加工不同厚度的弹簧状流量传感器,从而可以检测出不同范围的流速,最小可检测10-12量级的流速。该流量传感器可以用于多种微流控器件中,尤其适用于需要将流速检测与微流控器件结合的场合以及超低流速的检测应用中。

关键词：激光器 流体控制 流量传感器 飞秒激光 弹簧 

单位：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 安徽合肥230026