摘要：腔增强吸收光谱技术具有实验装置相对简单、灵敏度高、环境适应性强等特点，是高灵敏吸收光谱技术的重要组成部分。随着半导体材料和封装工艺的发展，腔增强吸收光谱技术在光路结构、光源选择、以及与其他光谱技术的联合应用方面有了极大的改进和拓展，在环境监测、医疗诊断、国防建设、工业生产等领域有广阔的应用前景。对腔增强吸收光谱技术的研究现状、发展趋势、应用领域等方面进行详细的论述，从腔增强吸收光谱技术的基本物理原理出发，基于不同的光源描述常见的实验配置，其次对改进光路几何结构的系统性能进行相关分析研究，此外概述了腔增强光谱技术与其他技术的联用情况，并总结了目前该技术在不同领域的应用，最后对各装置的发展前景进行了展望。

关键词：光谱学 腔增强吸收光谱技术 谐振腔 痕量气体检测 同位素分析 

单位：中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光电子器件与材料重点实验室; 安徽合肥230031; 中国科学技术大学环境科学与光电技术学院; 安徽合肥230026