摘要：搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱。测量了极紫外辐射的时间特性,用多次箍缩理论解释了光脉冲的多峰结构。获得了主脉冲电流幅值、Xe气流量、陶瓷管内径、等离子体长度、辅助气体等实验参数对极紫外辐射强度的影响规律。搭建了重复频率为1 kHz的13.5 nm极紫外光源样机,介绍了样机的电源系统、放电系统、去碎屑系统和光收集系统的基本情况,并给出了光源样机的调试结果。

关键词：x射线光学 极紫外光源 放电等离子体 xe 极紫外光刻 

单位：哈尔滨工业大学可调谐激光技术部级重点实验室; 黑龙江哈尔滨150080; 东北林业大学理学院; 黑龙江哈尔滨150040