摘要：设计了一个基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台,分析了测量模型在编程过程中产生误差的原因,并使用该仿真平台测试了模型的精度和运算时间。结果表明,当计算频率为20 kHz时,测量模型的编程精度优于0.79 nm,测量机箱引起的误差为8.84×10-7 nm。该仿真平台能够有效地检测基于二维光栅的测量模型在编程过程中产生的误差,并测试模型运算时间。

关键词：测量 精密测量 二维光栅 硬件在环 光刻机 

单位：桂林电子科技大学电子工程与自动化学院; 广西桂林541004; 上海微电子装备(集团)股份有限公司; 上海201203