摘要：为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出,设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件,研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明:VCSEL台面直径越大,阈值电流越大;氧化孔径越偏向圆形,边模抑制比越高。制备了氧化孔为圆形、直径为4.4μm的VCSEL器件,该器件在70~90℃工作温度及0.6 mA驱动电流下实现了894.6 nm单模激光输出,边模抑制比高于35 dB。

关键词：激光器 垂直腔面发射激光器 台面结构 氧化孔 激射性能 

单位：长春理工大学理学院高功率半导体激光器国家重点实验室; 吉林长春130022; 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所; 江苏苏州215123