摘要：基于光学干涉理论,提出了一种超分辨太赫兹波频谱仪系统。干涉系统采用的是自主研制的宽带氮化镓阵列探测器,用于信号的多点同时探测。所提出的太赫兹波频谱仪具有较高的精度,可实现超分辨。利用阵列探测器得到的二维强度分布,可以测定待测光源的光束质量。利用倍频链发射源产生的470~720GHz连续太赫兹波对频谱仪进行验证。在75mm探测距离下,频谱仪的频谱分辨率为100MHz,测量精度为0.1%,该精度是相同探测距离下分辨极限及精度的20倍。

关键词：测量 太赫兹 频谱仪 干涉 超分辨 

单位：吉林化工学院教务处; 吉林吉林132022; Physikalisches; Institut; Johann; Wolfgang; Goethe-Universitat; Frankfurt; am; Main; 60438; 北京理工大学光电学院北京市精密光电测试仪器及技术重点实验室; 北京100081; 首都师范大学物理系太赫兹光电子学教育部重点实验室; 北京100048