摘要：本文从磁控溅射的定义、优势以及应用三方面论述了磁控溅射方法制备薄膜，主要阐明了磁控溅射方法在实验领域的研究及制备薄膜的优势所在。

关键词：磁控溅射 镀膜 沉积 

单位：齐齐哈尔职业学院机电系