摘要：纳米沟道是纳流控芯片检测与应用的基础。纳流控芯片与微流控芯片的主要区别是结构特征尺寸的差异。微流控芯片的特征部件为微米尺度的通道，而纳流控芯片的特征部件为纳米尺度的通道。在国际上，微流控芯片技术已经相对成熟，而纳流控芯片技术尚处于发展阶段，但其应用潜力与市场前景巨大。纳米沟道是纳流控器件最基本的组成部分。纳流控芯片制造技术的难点是纳米沟槽的制造与纳米沟道的键合。所以，探索成型工艺简单、成本低、可进行批量化生产的纳米级沟槽制造技术，并将纳米级沟槽封装起来形成纳米沟道的稳定成型工艺，已成为纳流控器件真正得以实用化的关键。

关键词：纳米沟槽 制造方法 

单位：大连理工大学 辽宁大连116023