摘要：掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要。对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前主要精密球超精密加工技术的加工原理及加工实例。从材料去除率、加工精度、批一致性等方面对几种精密球超精密加工技术进行比较,并以提高加工精度及加工效率为目标,对精密球超精密加工技术的发展趋势进行预测。

关键词：精密球 超精密加工 研磨均匀性 研磨轨迹 批一致性 

单位：台州学院机械工程学院; 台州318000; 浙江工业大学超精密加工研究中心; 杭州310014; 绍兴文理学院机械与电气工程学院; 绍兴312000; 胡志明工业大学机械工程学院; 胡志明越南70000